Diese Arbeit untersucht die Realisierung transparenter Dünnschichtkondensatoren zur Integration in organische Leuchtdioden (OLEDs) mit dem Ziel, Flickereffekte bei Netzbetrieb zu reduzieren, ohne die geometrischen und optischen Vorteile der OLED-Technologie einzuschränken. Konventionelle Energiespeicher stehen häufig im Widerspruch zu den Anforderungen an Transparenz, Flexibilität und geringe Bauhöhe. Im Rahmen der Arbeit werden geeignete Materialien sowie Herstellungsverfahren, insbesondere Atomlagenabscheidung (ALD), plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (PEALD), plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) und Kathodenzerstäubung, untersucht und prozesstechnisch optimiert. Durch gezielte Oberflächenstrukturierung mittels Laserablation wird die effektive Elektrodenfläche vergrößert und gleichzeitig die Lichtauskopplung verbessert. Die Ergebnisse zeigen, dass transparente Dünnschichtkondensatoren mit ausreichender Kapazität zur signifikanten Reduktion von Flickereffekten erfolgreich auf strukturierten Glassubstraten realisiert werden können. Zudem wird die Integration dieser Strukturen mit OLEDs demonstriert, ohne die optische Transparenz wesentlich zu beeinträchtigen. Die Arbeit liefert damit einen Beitrag zur Entwicklung flacher, transparenter und integrierbarer Energiespeicherlösungen für zukünftige OLED-basierte Beleuchtungs- und Anzeigeanwendungen.