Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem

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Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem
In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.

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ISBN: 9783866448292

Language: German

Publication date: 15.05.2012

Number of pages: 150

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