Die ursprünglich empirische Entwicklung von Einzel-, Mehr und Gradientenschichtsystemen zur Reduktion der Gasdurchlässigkeit in großflächigen Beschichtungsprozessen wurde in den letzten Jahren abgelöst durch ein tiefgehendes Grundlagenverständnis für Beschichtungsprozesse. Dies bildet die Voraussetzung um den Bedarfen nach immer leistungsfähigeren Verpackungsmaterialien bei gleichzeitig geringen Kosten und hoher Nachhaltigkeit gerecht zu werden. Im Fokus der Untersuchungen stehen die in ihrer Zusammensetzung glasähnlichen, siliziumbasierten (SiOx-)Gasbarriereschichten, sowie in interdisziplinär Zusammenarbeit entwickelte TiO2-, a-Si:H- sowie ein weiteres SiOx-Schichtsysteme. Die grundlegenden Transportprozesse durch Einzel- und Mehrschichtverbunde werden untersucht, indem die mathematische Übereinstimmung zwischen den bekannten Diffusionsmodellen zur Beschreibung des Stofftransportes entlang von Poren, Defekten und durch Festkörper sowie den experimentell ermittelten Daten des Sauerstoff- und Wasserdampftransportes bestimmt wird.