Gesputterte MoSx Dünnschichten weisen aufgrund ihrer lamellaren Struktur sowie der Fähigkeit zur Bildung eines Transferfilms großes Potential zu einer Reduzierung der Reibung in technischen Kontakten auf. Sie stellen damit eine vielversprechende Alternative dar, um konventionelle mineralölbasierte Schmieröle zu ersetzen bzw. deren Einsatz zu vermindern. Im Rahmen dieser Arbeit wird gezeigt, dass das tribologische Verhalten durch eine Elementmodifizierung von MoSx Dünnschichten gezielt eingestellt werden kann und die MoSx:X Dünnschichten großes Potential als nachhaltiges und umweltfreundliches Schmierungskonzept aufweisen.