Aktuelle Prozessüberwachungssysteme nutzen meist zweidimensionale Fließbilder zur Darstellung und Überwachung von Prozessen. Die hierdurch möglichen Darstellungen sind geeignet um einfache Situation für Menschen lesbar abzubilden. Jedoch können diese bei komplexeren Prozessen unübersichtlich und mit zu vielen Informationen überladen werden. Dies hat zur Folge, dass die Darstellung vereinfacht oder auf mehrere Fließbilder aufgeteilt werden muss. Hierdurch können detailliertere Informationen verloren gehen oder Zusammenhänge für den Benutzer schwerer zu erkennen werden. In der vorliegenden Arbeit wird betrachtet, inwiefern ein Mehrwert durch eine 3D-Modell-basierte Darstellung der Prozessüberwachung hinzugewonnen werden kann. Eine 3D-Modell-basierte Überwachung kann einige Probleme der zweidimensionalen Fließbilder umgehen. Eine räumliche Darstellung ist für einen Menschen intuitiver zu verstehen, da sie eher der Realität entspricht als ein zweidimensionales Fließbild. Weiterhin können komplexe Situationen informationsverlustfrei abgebildet werden, da bei einer 3D-Modell-basierte Darstellung die Ansicht rotiert und skaliert werden kann. Dies erlaubt, bei einer geeigneten Umsetzung einer dreidimensionalen Visualisierung, einen sehr hohe Informationsdichte auf intuitive und übersichtliche Weise für Benutzer eines 3D-Modell-basierten Prozessüberwachungssystems zur Verfügung zu stellen. Hierzu wurde ein 3D-Modell-basiertes Prozessüberwachungssystem (das 3D-SCADA-System) entwickelt und umgesetzt. Das 3D-SCADA-System bietet eine dreidimensionale Visualisierung, die als zentraler Anlaufpunkt für die Prozessüberwachung gilt. Diese kann kontextrelevante Information anzeigen und ermöglicht Zugriff auf weitere dreidimensionale Visualisierungen oder zweidimensionale Fließbilder, welche in Summe eine intuitive verständliche Aufbereitung von Informationen einer Prozessüberwachung bieten.